南大光电：目前ArF光刻胶项目已完成的产线设计产能为25吨

2021-5-12 07:43| 发布者: 郎少| 查看: 1764| 评论: 0|来自: e公司

摘要: 　　南大光电(300346)接受机构调研时表示，公司ArF光刻胶产品开发和产业化项目，目前已完成25吨光刻胶生产线建设，主要先进光刻设备，如ASML浸没式光刻机等已经完成安装并投入使用。2020年底，公司自主研发的ArF光刻 ...

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